ASML Taiwan


ASML is een van ’s werelds meest toonaangevende chipmachinefabrikanten. Het hoofdkantoor van het bedrijf bevindt zich in Veldhoven.

Chips worden steeds sneller, kleiner, slimmer, energiezuiniger en betaalbaarder. Om te kunnen voldoen aan de steeds strengere eisen van de industrie ontwikkelt ASML voortdurend nieuwe technologieën en machines. Dit vraagt om voortdurende uitbreiding en upgrading van de faciliteiten.

Strategische partner

Al meer dan 25 jaar is Deerns de strategische partner van ASML als het gaat om het plannen en ontwerpen van nieuwe installaties en faciliteiten. Nadat we begin jaren negentig de eerste cleanrooms voor ASML hadden ontworpen, ontwikkelde ASML in 2009 in nauwe samenwerking met Deerns een masterplan voor de campus die het bedrijf in Veldhoven wilde ontwikkelen. De implementatie van dit masterplan begon in 2010 en loopt nog steeds. Het plan omvat onder meer het ontwerp en de realisatie van de nieuwe cleanrooms voor de ontwikkeling en assemblage van de EUV-lithografiescanners, kantoorruimte boven deze cleanrooms en een nieuw restaurant. Tegelijkertijd wordt de bestaande fabriek voor NXT-scanners geüpgraded.

ASML Centre of Excellence

Buiten Nederland heeft Deerns het ASML Centre of Excellence (ACE), de nieuwe productie- en opleidingsfaciliteit van ASML in Taiwan, ontworpen en toezicht gehouden op het bouwproces. Het hele project nam slechts achttien maanden in beslag. Het ontwerpteam stond voor de uitdaging speciale scrubbing- en filtratiesystemen te ontwikkelen om het risico van Airborne Molecular Contamination (AMC) te voorkomen. Bovendien ligt Taiwan in een gebied waar vaak aardbevingen, tyfonen en cyclonen voorkomen. Het ACE-gebouw is daarom zo ontworpen dat het deze hevige natuurkrachten kan weerstaan, terwijl tegelijkertijd wordt voldaan aan de vibratiespecificaties die ASML heeft opgesteld voor zijn cleanrooms.