ASML Het realiseren van high-technologie met mensen


ASML is een van ’s werelds meest toonaangevende fabrikanten van machines voor de halfgeleider industrie. Het bedrijf is opgericht in 1984 en heeft zijn hoofdkantoor in Veldhoven. In Nederland ontwerpt, ontwikkelt en integreert het bedrijf geavanceerde lithografische systemen voor de productie van halfgeleider-chips. Chips worden steeds sneller, kleiner, slimmer, meer energie-efficiënt en meer betaalbaar. Om deze ontwikkeling te faciliteren ontwikkelt het bedrijf voortdurend nieuwe technologieën en machines en breidt zijn productielijnen uit.

ASML werkt nauw samen met partners bij de ontwikkeling, het ontwerp en de realisatie van nieuwe productielijnen. Deerns is een van de partners en verantwoordelijk voor de planning, het ontwerp en de inbedrijfstelling van alle technische installaties en infrastructuur.

Na een haalbaarheidsstudie en een masterplan voor de vereisten en mogelijkheden van de uitbreiding van ASML's productiefaciliteiten, vertaalde Deerns de technische en productie-eisen in een hoogwaardig ontwerp voor nieuwe productie- en ondersteunende faciliteiten ten behoeve van state-of-the-art lithografiescanners van de NXT familie (fase 1 & 2), EUV-lithografie scanners (fase 3) en de volgende generatie 450mm scanners. De realisatie van zes kantoren (boven de cleanrooms!) en de bijbehorende utiliteitsgebouwen zijn eveneens onderdeel van de projecten. Belangrijkste uitgangspunten voor het ontwerp zijn: functionaliteit, veiligheid, betrouwbaarheid, duurzaamheid (minimale energiebehoefte) en flexibiliteit.

Bijzondere kenmerken

Timing is een cruciale factor in de halfgeleiderindustrie en dit komt terug in het ontwerp- en bouwproces. Om dit proces te optimaliseren en er tegelijkertijd voor te zorgen dat aan de zeer strenge kwaliteitseisen wordt voldaan, is een nauwe samenwerking tot stand gebracht tussen de ontwerp- en bouwteams. Bovendien zijn de plannen voor het testen en in bedrijf stellen tijdens de ontwerpfase al meegenomen en vastgesteld.

Ondanks ASML's veranderende uitrustingseisen tijdens het proces is het projectteam erin geslaagd zowel de ontwerpfase als de bouwfase binnen de geplande tijd en conform de kwaliteitseisen te realiseren.